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Physikalisch basierte Mixed-Level-Modellierung von gedämpften elektromechanischen Mikrosystemen

In dieser Dissertation wird ein neuartiges Verfahren zur Modellierung von elektromechanischen Mikrosystemen untersucht, das als Grundlage für den Entwurf solcher Strukturen geeignet ist. Dabei werden die in Mikrometerabmessungen besonders wichtigen Effekte betont, die Möglichkeit elektrostatischer A... Full description

Published: Aachen, Shaker, 2007
Series: Selected Topics of Electronics and Micromechatronics/ Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik
28
Fulltext access:
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Interlibrary loan: Check possibility for interlibrary loan
Links: Additional Link (deposit.d-nb.de)
ISBN: 9783832266585
Additional Keywords: DAEMPFUNG-DURCH-ZAEHFLUESSIGKEIT
DISSERTATION
ELEKTROSTATISCHE-ANZIEHUNGSKRAFT
MEMS:MIKROELEKTROMECHANISCHES-SYSTEM
MIKROFLUIDIK
MIKROSCHALTER
MIKROSYSTEM
Notes: Copyright: Metadaten: TEMA, Copyright WTI-Frankfurt eG
Copyright: (C) Alle Rechte beim Herausgeber
Physical Description: 181 Seiten, Bilder, Tabellen, 177 Quellen
PPN (Catalogue-ID): WTI045655332
Note: WTI TEMA DB
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520 |a In dieser Dissertation wird ein neuartiges Verfahren zur Modellierung von elektromechanischen Mikrosystemen untersucht, das als Grundlage für den Entwurf solcher Strukturen geeignet ist. Dabei werden die in Mikrometerabmessungen besonders wichtigen Effekte betont, die Möglichkeit elektrostatischer Antriebe einerseits und die starke fluidische Dämpfung von Bewegungen und Transienten der Systeme andererseits. Das Verfahren zielt auf die Systemebene ab, während die Bauelementebene und die Prozessebene als Teilaspekte zu diesem Ziel beitragen. Der gewählte so genannte mixed-level-Ansatz bedeutet, dass Kompaktmodelle in einer Simulationsumgebung mit einem Kontinuumsmodell kombiniert werden, so dass der Übergang vom Bauelement zum System weitgehend fehlerfrei gewährleistet werden kann. Dieser Ansatz wird im Vergleich zu anderen Optionen begründet. Die Grundlagen der fluidischen Dämpfung werden präsentiert und mit den Grundgleichungen und einem Dämpfungskompaktmodell realisiert, das an die mixed-level-Ebene angekoppelt werden kann. Validierungen werden für elementare Strukturen durchgeführt. Da beim elektrostatischen Antireb stets elektromechanische Koppeleffekte auftreten, werden entsprechende Modellierungsmöglichkeiten beschrieben und am Beispiel einer ausgelenkten Membran realisiert. Die zusammengeführten Dämpfungs- und Antriebsmodelle werden auf einen Mikroschalter angewendet; die Ergebnisse werden experimentell verifiziert. (Auch vorhanden als TIB-H07B1975) 
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